Systemy mikroanalizy rentgenowskiej EDX

System EDS nazywany także EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer - Spektrometr dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego) to system analityczny instalowany na skaningowych i transmisyjnych mikroskopach elektronowych. Spektrometr ten rozszerza możliwości badawcze mikroskopów o dokładną i szybką analizę chemiczną (jakościową i ilościową) obserwowanych powierzchni.
Spektrometr ten wykorzystuje jeden z fizycznych efektów oddziaływania wiązki elektronów z próbką w mikroskopie skaningowym (lub transmisyjnym), który polega na tym, że atomy próbki wzbudzone elektronami emitują promieniowanie rentgenowskie. Obok promieniowania rentgenowskiego ciągłego, które nie jest wykorzystywane do analizy (stanowi ono tło pomiaru), wzbudzane jest również promieniowanie charakterystyczne. Cechuje je ściśle określona długość fali i wielkość energii, których wartości zależą tylko od rodzaju pierwiastków zawartych w badanej próbce. Wykorzystując energetyczny spektrometr z detektorem półprzewodnikowym można w sposób elektroniczny na podstawie wielkości energii promieniowania charakterystycznego dokonać jego identyfikacji i pomiaru. Pozwala to z kolei na określenie składu chemicznego analizowanej próbki.

Pierwszą, podstawową informacją uzyskiwaną ze spektrometru EDS jest widmo, na którym piki zarejestrowanego promieniowania są automatycznie oznaczana symbolem pierwiastka, któremu dany pik odpowiada. Informacja o składzie chemicznym pochodzić może z wybranego na obrazie mikroskopowym obszaru, punktu lub linii.

Analiza wzdłuż zdefiniowanej linii pozwala uzyskać wykres zmian zawartości wybranych pierwiastków, która ma miejsce np. na granicy warstw albo w pobliżu wydzielenia.

Istnieje także możliwość uzyskiwania map rozkładu pierwiastków, na których osobnymi kolorami zaznaczone są obszary, które zawierają poszczególne pierwiastki. Istnieje możliwość uzyskiwania map jakościowych oraz ilościowych, które pozwalają określić zawartość procentową poszczególnych pierwiastków.