Regulatory przepływu (MFC)

W wielu stosowanych obecnie zaawansowanych procesach kluczowe znaczenie ma precyzyjny i niezawodny przepływ gazów i jego kontrola. Firma MKS posiada szeroki zakres produktów związanych z przepływem gazów, włączając regulatory przepływu masowego (MFC), weryfikatory przepływu masowego in-situ, kontrolery współczynnika przepływu, które precyzyjnie i powtarzalnie rozdzielają strumień gazu na wiele strumieni docierających do różnych miejsc procesu. Regulatory przepływu masowego są dostępne w wersji z czujnikiem opueipym na technologii termicznej albo ciśnieniowej,
z komunikacją analogową albo cyfrową, z uszczelnieniami metalowymi albo elastomerowymi. Produkty związane z przepływem gazów są projektowane z myślą, aby umożliwić użytkownikom uczynić ich proces szybszym, precyzyjniejszym i tańszym.

SERIA G- Termiczne przepływomierze i regulatory przepływu masowego, ogólnego zastosowania.
Regulatory przepływu masowego G-Series są produktami efektywnymi kosztowo o wysokiej wydajności, dobrze dopasowanymi do większości gałęzi przemysłu i aplikacji.

Cechy wspólne:

  • Górne zakresy przepływu od 5 sccm do 250 slm
  • Wielozakresowość i współpraca z wieloma gazami
  • Czas stabilizacji poniżej 750 millisekund
  • Zasilanie: 15 do 25 VDC
  • Dostępne sygnały analogowe: od 0 do 5 VDC; 4 do 20 mA
  • Dostępne sygnały cyfrowe: Devicenet; Profibus; EtherCAT; RS485
  • Wbudowany protokuł Modbus
  • Interfejs Ethernet
  • Sterowniki Labview

SERIA I- Termiczne przepływomierze i regulatory przepływu masowego, o klasie ochrony IP66.
Regulatory przepływu masowego I-Series są przeznaczone do zastosowania w aplikacjach przemysłowych w trudnych warunkach, gdzie może występować woda i regulator musi być zabezpieczony przed ich działaniem. Obudowa o klasie ochrony IP66 zabezpiecza regulatory
I-Series przed bezpośrednim oblaniem wodą, jak również przed pyłem.

Cechy wspólne:

  • Klasa ochrony IP66
  • Wielozakresowość i współpraca z wieloma gazami
  • Dokładność 1% nastawy
  • Czas stabilizacji poniżej 750 millisekund
  • Zasilanie: 15 do 25 VDC
  • Dostępne sygnały analogowe: 0 do 5 VDC; 4 do 20 mA
  • Dostępne sygnały cyfrowe: Devicenet; RS485
  • Wbudowany protokuł Modbus
  • Interfejs Ethernet

SERIA P- Termiczne przepływomierze i regulatory przepływu masowego, wysokiej wydajności.
Regulatory przepływu masowego P-Series, wysokiej wydajności, są przeznaczone do zastosowania w najbardziej krytycznych aplikacjach, gdzie wymagana jest wysoka dokładność, powtarzalność, jak również niewrażliwość na zmiany ciśnienia.

Cechy wspólne:

  • Wielozakresowość i współpraca z wieloma gazami
  • Dokładność 1% nastawy
  • Czas stabilizacji poniżej 750 millisekund
  • Zasilanie: 11 do 25 VDC
  • Opcjonalne sygnały analogowe: 0 do 5 VDC
  • Opcjonalne sygnały cyfrowe: Devicenet; RS485
  • Wbudowany protokuł Modbus
  • Interfejs Ethernet
  • Zintegrowany wyświetlacz

Regulator przepływu masowego ogólnego zastosowania MF1.
MF1 jest regulatorem przepływu masowego ogólnego zastosowania (MFC) do przepływów aż do 50 slm, z w pełni metalowym czujnikiem. Posiada wiele cech i różnych konfiguracji, dzięki którym nadaje się idealnie do zastosowania w szerokim zakresie aplikacji. Jest dostępny z szeregiem różnych interfejsów procesowych (analogowe, EtherCAT, Profibus-DP, Modbus/RS485, USB, itd.) ułatwiających zintegrowanie z szerokim zakresem systemów sterowania. Interfejs USB umożliwia konfigurację, diagnostykę, a także może służyć jako połączenie komunikacyjne w aplikacjach laboratoryjnych.

Termiczne i ciśnieniowe kontrolery przepływu masowego specjalnego zastosowania.

  • Termiczny kontroler przepływu masowego P2 (niskociśnieniowy, uszczelniony metalem, wielozakresowy, współpracujący z wieloma gazami)
  • Ciśnieniowy kontroler przepływu masowego 1640A