Regulatory przepływu masowego specjalnego zastosowania

Wiele procesów produkcyjnych i pomiarowych wymaga dostarczenia czynnika, który może występować w stanie ciekłym, stałym lub posiadać niskie ciśnienie parowania w temperaturze pokojowej. Każdy taki czynnik oraz sam proces, definiuje unikalne wymagania dotyczące pomiaru i kontroli. Niektóre substancje mogą być dostarczane w typowej temperaturze przy użyciu standardowych regulatorów i dozowników. Jednakże występują również związki wymagające ogrzania w celu uzyskania odpowiedniego ciśnienia parowania, co umożliwia dostarczenie ich do środowiska procesowego. Firma MKS oferuje szeroką gamę produktów (opartych o termiczną oraz ciśnieniową metodę kontroli przepływu) stworzonych aby bezpośrednio kontrolować dostarczanie określonych substancji bez konieczności stosowania gazów nośnych.

Ciśnieniowy kontroler przepływu z serii 1640A.
Jest to kontroler o uszczelnieniu metalowym, zaprojektowany do dokładnego pomiaru i kontroli przepływu gazu przy niskim ciśnieniu.
W pełni sprawdza się wszędzie tam, gdzie dokładność kontrolerów działających w oparciu o metodę termiczną nie jest wystarczająca.
Regulator 1640A wykorzystuje zasadę przepływu dźwiękowego przez dyszę, przy założeniu że ciśnienie kontrolowane (pierwotne) jest co najmniej dwukrotnie większe niż ciśnienie wylotowe. W takich warunkach, przepływ jest proporcjonalny do kontrolowanego ciśnienia.

W ciśnieniowym kontrolerze przepływu 1640A, pojemnościowa głowica typu Baratron® monitoruje ciśnienie przed zwężką dyszy wylotowej.
Ciśnienie to jest proporcjonalne do przepływu. Zmierzone ciśnienie jest porównywane z zadanym ciśnieniem przepływu przez układ elektroniczny, w skutek czego generowany jest sygnał sterujący zaworem kontrolera.

Typowe zastosowania kontrolera tego typu to implantacja jonów SDS® (Safe Delivery Source®), domieszkowanie i subatmosferyczne osadzanie chemiczne (Sub-atmospheric chemical vapor deposition- SACVD) przepływu ozonu, dostarczanie par wody i gazów czułych na zmiany ciśnienia. Więcej...

Regulator ciśnieniowy 1150C jest podgrzewanym kontrolerem wykorzystującym przepływ laminarny przez dyszę wylotową dławika.
Regulator ten został zaprojektowany w celu bezpośredniego i precyzyjnego pomiaru oraz kontroli ilości dostarczanych par lotnych ze źródeł stałych i ciekłych, charakteryzujących się niskim ciśnieniem parowania bez konieczności stosowania gazów nośnych.

Kontroler 1150C składa się z rdzenia z kanałem roboczym o ustalonym poziomie przepływu, pomiarowej głowicy pojemnościowej i elektrycznego zaworu sterującego realizującego kontrolę przepływu (U.S. patent No. 4,679,585). Wszystkie te elementy zamknięte są w kompaktowej obudowie z płaszczem termicznym umożliwiającym kontrolę temperatury wewnątrz. Status oraz temperatura są sygnalizowane poprzez diodę LED oraz przekaźnik, które sygnalizują osiągnięcie nastawionych wartości. Kontrolery tego typu są z powodzeniem stosowane do dostarczania par ze źródeł ciekłych. Więcej...

W przygotowaniu...