Mikroskopy MIRA FEG SEM

Tescan, MIRA FEG-SEM

Najnowsza generacja wysokorozdzielczych mikroskopów skaningowych serii MIRA wyposażonych w emisję polową (Field Emission Gun) została zaprojektowana tak aby spełnić najwyższe wymagania stawiane przed mikroskopami przeznaczonymi do badań naukowych oraz zaawansowanej kontroli jakości. Ta nowa generacja zapewnia użytkownikom zalety najnowszych technologii, takich jak nowa, wysokowydajna elektronika do szybszej akwizycji obrazu, ultra szybki system skanowania z kompensacją statycznej i dynamicznej aberracji obrazu oraz wbudowany moduł tworzenia własnych skryptów dedykowanych do aplikacji definowanych przez użytkownika.

Doskonała rozdzielczość  przy wysokich prądach wiązki okazuje się bardzo  korzystna w aplikacjach analitycznych takich jak: EBSD,WDX itp.

Mikroskopy są wyposażone w trzy wielkości komory próbek:

Wielkość komory: Komora LM Komora XM Komora GM
Maks. wysokość próbek: 8,1 cm 14,5 cm 14,5 cm
Motoryzacja stolika w osiach: X,Y,Z,R*,T* X,Y,Z,R*,T* X,Y,Z,R*,T*
Zakres ruchu w osi X: 8 cm 13 cm 13 cm
Zakres ruchu w osi Y: 6 cm 13 cm 13 cm
Zakres ruchu w osi Z: 4,7 cm 100 cm 100 cm
Ilość wolnych portów: 11 12 20
Kamera podglądu komory: standard standard standard
Objaśnienia: * R - obrót stolika, T - pochylenie stolika

Emiter Schottky’ego o wysokiej jasności umożliwia obrazowanie o wysokiej rozdzielczości przy wysokim prądzie wiązki i niskim poziomie zakłóceń.

Unikalna optyka elektronowa

  • Unikalny układ elektronooptyczny (Wide Field Optics™), który umożliwia uzyskiwanie różnych trybów pracy optyki oraz obrazowania niedostępnych w innych mikroskopach.
  • Specjalna soczewka pośrednia (Intermediate Lens - IML) pozwala na płynne, kontrolowane elektromagnetycznie, regulowanie apertury wiązki elektronowej.
  • Algorytm kontroli wiązki In-Flight Beam TracingTM zapewnia łatwą optymalizację parametrów wiązki elektronowej dla wybranego powiększenia i napięcia przyspieszającego. Umożliwia precyzyjną, automatyczną kontrolę i regulację prądu próbki oraz średnicy wiązki.
  • Zastosowany w mikroskopie układ optyczny składający się z trzech soczewek elektronowych pozwala na płynne konfigurowanie układu i pracę z optymalizacją rozdzielczości, głębi ostrości lub pola widzenia dzięki unikalnemu rozwiązaniu firmy Tescan - dedykowanej soczewce pośredniej. Soczewka ta zapewnia płynną regulację efektywnej apertury wiązki dobieraną do powiększenia.
  • Optyka elektronowa posiada także tryb pracy pozwalający na pochylanie wiązki elektronowej. Pozwala to uzyskiwać obrazy trójwymiarowe obserwowanych powierzchni także z możliwością pomiarów głębokości i wysokości obiektów powierzchni (opcja).
  • Opcjonalna technologia wyhamowywania wiązki elektronowej (BDT- Beam Deceleration Technology)oferuje poprawę rozdzielczości obrazów przy niskich energiach wiązki.
  • Szybkie skanowanie oraz wysoka szybkośc stolika optymalizują czas analizy dużych obszarów.
  • Całkowicie bezolejowy układ próżniowy zawierający pompę wstępną typu scroll, pompę turbomolekularną oraz dwie pompy jonowe. Brak chłodzenia cieczowego.
  • Możliwość zdalnej kontroli mikroskopu oraz diagnostyki (TCP/IP).
  • Możliwość pochylania wiązki elektronowej o zdefiniowany kąt – możliwość obrazowania 3D oraz uzyskiwanie obrazów dyfrakcyjnych.

Łatwa obsługa i konserwacja

Utrzymanie mikroskopu w optymalnym stanie technicznym jest łatwe i wymaga minimalnych czynności konserwacyjnych. Każdy szczegół został starannie zaprojektowany, aby zmaksymalizować wydajność i zminimalizować wysiłek operatora mikroskopu.

Zautomatyzowane procedury

Kontrola ustawień działa elektronowego w celu uzyskania optymalnej wydajności wiązki, odbywa się automatycznie, za pomocą jednego kliknięcia. Mikroskop posiada szereg innych procedur, które zmniejszają znacznie czas regulacji, umożliwiając min. szybkie uzyskiwanie ostrego obrazu, ustawień jasności i kontrastu obrazów, automatyczną relokację stolika do zdefiniowanych położeń i automatyczną analizę obrazów. Wbudowany język skryptowy (Python) umożliwia dostęp do większości funkcji oprogramowania, w tym pełną kontrolę mikroskopu, kontrolę stolika, akwizycję obrazu oraz jego przetwarzanie i analizę. Wbudowany skrypt umożliwia użytkownikom definiowanie własnych automatycznych procedur.

Przyjazne dla użytkownika oprogramowanie i narzędzia programowe

  • Oprogramowanie mikroskopu dostępne jest w wielu wersjach językowych.
  • Dostęp do mikroskopu i jego kluczowych ustawień może być kontrolowany przez nadrzędnego operatora (supervisor), który może przyznawać uprawnienia poszczególnym użytkownikom. Jest to bardzo przydatna własność w przypadku gdy mikroskop jest obsługiwany przez grupę operatorów o zróżnicowanym poziomie doświadczenia lub w pracowniach prowadzących zajęcia dla studentów. Obsługa mikroskopu jest bardzo intuicyjna. Dodatkowo istnieje możliwość przełączenia interfejsu obsługi mikroskopu w tzw. uproszczony panel - EasySEMTM , który umożliwia pracę na mikroskopie nawet osobom, które nie miały wcześniej żadnego kontaktu z mikroskopem skaningowym.
  • Oprogramowanie posiada zestaw narzędzi do diagnostyki oraz kontroli gotowości systemu. Istnieje możliwość zdalnej diagnostyki, obsługi i kontroli mikroskopu.
  • Modułowa struktura oprogramowania pozwala wprowadzać dodatkowe rozszerzenia (moduły), które rozszerzają możliwości analizy i przetwarzania obrazów.
  • Podstawowy zestaw modułów dostępnych w standardowym oprogramowaniu umożliwia min. pomiary, przetwarzanie obrazu, pomiar powierzchni obiektów, pobieranie obrazów z zewnętrznych źródeł, korelacyję obrazów z mikroskopu optycznego i elektronowego itp.
  • Dostępnych jest wiele opcjonalnych modułów  lub specjanych aplikacji zoptymalizowanych do automatycznych procedur pomiarowych takich jak: analiza morfologiczna, zliczanie obiektów według zadanych kryteriów, rekonstrukcja obrazów trójwymiarowych, litografia elektronowa itp.

Modele MIRA