Mikroskopy VEGA SEM

Tescan, VEGA 3 LMU

Mikroskopy skaningowe serii VEGA zostały zaprojektowane jako uniwersalne urządzenia dla szerokiego zakresu zastosowań. Mikroskopy te są doskonałym narzędziem zarówno w badaniach naukowych jak również w przemysłowej kontroli jakości. Po 10 latach  ciągłego rozwoju i ulepszania mikroskopów tej serii, obecnie produkowane przez firmę TESCAN urządzenia, oznaczone są jako seria trzeciej generacji (Vega 3). Ta nowa generacja posiada szereg zalet związanych z zastosowaniem najnowszych technologii, takich jak nowa, ulepszona, wysokowydajna elektronika umożliwiająca szybkie obrazowanie i przetwarzanie obrazów, ultra szybki system skanowania z kompensacją statycznej oraz dynamicznej aberracji obrazu, a także wbudowany moduł tworzenia własnych skryptów dedykowanych do aplikacji definiowanych przez użytkownika. Bardzo ważnym założeniem konstruktorów było także zachowanie atrakcyjnej ceny oraz niskich kosztów eksploatacji mikroskopów serii VEGA.

Standardowe wyposażenie mikroskopów

Mikroskopy elektronowe VEGA wyposażone są w działo elektronowe zawierające katodę wolframową. Rozwiązanie to umożliwia uzyskanie rozdzielczości obrazów rzędu 3-3,5 nm. Istnieje możliwość zamówienia mikroskopu VEGA LM lub XM wyposażonego w źródło elektronów z emiterem LaB6 (sześcioborek lantanu). To rozwiązanie umożliwia uzyskiwanie obrazów o rozdzielczości 2-2,5 nm.

Mikroskopy są wyposażone w trzy wielkości komory próbek:

Wielkość komory: Komora SB Komora LM Komora XM
Maks. wysokość próbek: 3,6 cm 6-8 cm 14,5 cm
Motoryzacja stolika w osiach: X,Y X,Y,Z,R*,T* X,Y,Z,R*,T*
Zakres ruchu w osi X: 4,5 lub 3,5 cm** 8 cm 13 cm
Zakres ruchu w osi Y: 4,5 lub 3,5 cm** 6 cm 13 cm
Zakres ruchu w osi Z: 27 cm 47 cm 100 cm
Ilość wolnych portów: 10 11 20
Kamera podglądu komory: opcja standard standard
Objaśnienia: * R - obrót stolika, T - pochylenie stolika        ** W przypadku stolika z rejestracją współrzędnych

Działo elektronowe z emiterem LaB6

Źródło elektronów w postaci emitera  LaB6 (sześcioborek lantanu) oferuje własności wiązki elektronowej pomiędzy emiterem Schottky'ego (emisja polowa - Field Emission) a żarzonym włóknem wolframowym. Zaletą stosowania LaB6 jest stabilność tego źródła elektronów - porównywalna nawet do źródła FE. Rozwiązanie to zapewnia wyższy prąd wiązki elektronów przy niższej temperaturze katody - w porównaniu z emiterami wolframowymi. Wiąże się to z wyższą jasnością źródła oraz poprawą rozdzielczości w całym zakresie napięć przyspieszających oraz dłuższym czasem życia katody. W związku z wyższym poziomem emisji, emiter LaB6 jest odpowiednim wyborem w aplikacjach analitycznych, które wymagają wysokiego natężenia prądu wiązki elektronowej.

Unikalna optyka elektronowa

  • Unikalny, cztero-soczewkowy układ elektronooptyczny (Wide Field Optics™), który umożliwia uzyskiwanie różnych trybów pracy optyki oraz obrazowania niedostępnych w innych mikroskopach. 
  •  Specjalna soczewka pośrednia (Intermediate Lens - IML) pozwala na płynne, kontrolowane elektromagnetycznie, regulowanie apertury wiązki elektronowej.
  •  Użycie najnowszych materiałów zastosowanyuch w soczewkach oraz cewkach pozwala na ultra-szybką prędkość skanowania wynoszącą poniżej 20 ns na piksel przy minimalizacji efektów zniekształceń dynamicznych.
  •  Algorytm kontroli wiązki In-Flight Beam TracingTM zapewnia łatwą optymalizację parametrów wiązki elektronowej dla wybranego powiększenia i napięcia przyspieszającego. Umożliwia precyzyjną, automatyczną kontrolę i regulację prądu próbki oraz średnicy wiązki.
  •  Unikalna konstrukcja kolumny mikroskopu - bez jakichkolwiek mechanicznie centrowanych elementów - pozwala na w pełni automatyczne centrowanie elementów kolumny.
  • Unikalne obrazowanie stereoskopowe, przy użyciu zaawansowanej technologii 3D Beam Technology - umożliwia uzyskiwanie trójwymiarowych obrazów w skali mikro i nano.

Łatwa obsługa i konserwacja

Utrzymanie mikroskopu w optymalnym stanie technicznym jest łatwe i nie wymaga skomplikowanych ani częstych czynności konserwacyjnych. Każdy szczegół został starannie zaprojektowany, aby zmaksymalizować wydajność i zminimalizować wysiłek operatora mikroskopu.

Zautomatyzowane procedury

Regulacja punktu pracy katody i ustawienia działa elektronowego w celu uzyskania optymalnej wydajności wiązki, odbywają się automatycznie, za pomocą jednego kliknięcia. Mikroskop posiada szereg innych procedur, które zmniejszają znacznie czas regulacji, umożliwiając min. szybkie uzyskiwanie ostrego obrazu, ustawień jasności i kontrastu obrazów, automatyczną relokację stolika do zdefiniowanych położeń i automatyczną analizę obrazów. Wbudowany język skryptowy (Python) umożliwia dostęp do większości funkcji oprogramowania, w tym pełną kontrolę mikroskopu, kontrolę stolika, akwizycję obrazu oraz jego przetwarzanie i analizę. Wbudowany skrypt umożliwia użytkownikom definiowanie własnych automatycznych procedur.

Przyjazne dla użytkownika oprogramowanie i narzędzia programowe

  • Oprogramowanie mikroskopu dostępne jest w wielu wersjach językowych.
  • Dostęp do mikroskopu i jego kluczowych ustawień może być kontrolowany przez nadrzędnego operatora (supervisor), który może przyznawać uprawnienia poszczególnym użytkownikom. Jest to bardzo przydatna własność w przypadku gdy mikroskop jest obsługiwany przez grupę operatorów o zróżnicowanym poziomie doświadczenia lub w pracowniach prowadzących zajęcia dla studentów. Obsługa mikroskopu jest bardzo intuicyjna. Dodatkowo istnieje możliwość przełączenia interfejsu obsługi mikroskopu w tzw. uproszczony panel - EasySEMTM , który umożliwia pracę na mikroskopie nawet osobom, które nie miały wcześniej żadnego kontaktu z mikroskopem skaningowym.
  • Oprogramowanie posiada zestaw narzędzi do diagnostyki oraz kontroli gotowości systemu. Istnieje możliwość zdalnej diagnostyki, obsługi i kontroli mikroskopu.
  • Modułowa struktura oprogramowania pozwala wprowadzać dodatkowe rozszerzenia (moduły), które rozszerzają możliwości analizy i przetwarzania obrazów.
  • Podstawowy zestaw modułów dostępnych w standardowym oprogramowaniu umożliwia min. pomiary, przetwarzanie obrazu, pomiar powierzchni obiektów, pobieranie obrazów z zewnętrznych źródeł, korelacyję obrazów z mikroskopu optycznego i elektronowego itp.
  • Dostępnych jest wiele opcjonalnych modułów  lub specjanych aplikacji zoptymalizowanych do automatycznych procedur pomiarowych takich jak: analiza morfologiczna, zliczanie obiektów według zadanych kryteriów, rekonstrukcja obrazów trójwymiarowych, litografia elektronowa itp.