Agilent Turbo-V 1K-G jest wysokowydajną pompą turbomolekularną stworzoną na potrzeby systemów próżniowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw. Stopnie pompowania oraz cała konstrukcja są zoptymalizowane do pracy z bardzo dużymi przepływami Argonu przy wysokiej temperaturze. Ta wytrzymała pompa turbo znakomicie sprawdza się w trudnych warunkach produkcyjnych np paneli słonecznych, płaskich wyświetlaczy a także przy nanoszeniu powłok metodą PVD.

Prosta i wytrzymała konstrukcja pompy turbomolekularnej Turbo-V 1K-G oraz zaawansowana elektronika sterująca, czyni ją optymalnym rozwiązaniem dla procesów powlekania próżniowego.
Z doświadczenia wiemy także, że pompa turbomolekularna Agilent Trubo-V 1K-G doskonale sprawdza się we wszystkich tych aplikacjach, w których niezbędna jest niezawodna pompa próżniowa o wysokiej wydajności.

Cechy pompy:

  • Specjalistyczne rozwiązanie dla systemów pompowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw
  • Wysoka prędkość pompowania i duży przepływ gazu
  • Wytrzymała konstrukcja i wysoce wydajny układ chłodzenia do ciągłej pracy
  • Układ do przedmuchu łożysk
  • Do wyboru kontroler typu rack lub Navigator
  • Wszechstronny interfejs elektroniczny z łatwym w obsłudze oprogramowaniem sterującym
  • Analogowe sygnały I/O oraz RS 232 / RS 485 jako standard, interfejs Profibus jako opcja
Prędkość pompowania ISO 160 ISO 200
N2
He

H2
Ar
810 l/s
950 l/s
680 l/s
750 l/s
1080 l/s
1150 l/s
730 l/s
1040 l/s
Współczynnik kompresji
N2
He
H2
Ar
> 5 x 107
> 4 x 104
1.5 x 104
> 5 x 108
Próżnia końcowa
(z rekomendowaną pompą wstępną)
< 1 x 10-10 mbar
Dostępne flansze wlotowe ISO 160F; ISO 200F
Flansza wylotowa DN 25 KF (dla flanszy wlotowej ISO 160)
DN 40 KF (dla flanszy wlotowej ISO 200)
Prędkość obrotowa 45500 rpm
Czas startu pompy < 5 min
Rekomendowane pompy wstępne Pompy rotacyjne Agilent DS 602
Pompy suche typu scroll TriScroll 600
Pozycja pracy Dowolna
Temperatura pracy (otoczenia) Od +5°C do +35°C
Temperatura wygrzewania 80°C dla flnaszy typu ISO
120°C dla flanszy typu CF
(na flanszy wlotowej)
Poziom wibracji < 0.01 μm na flanszy wlotowej
Wymagania dotyczące chłodzenia
Typ chłodzenia Wodne
Temperatura przechowywania Od -20°C do +70°C
Masa 26.8 kg
Numer katalogowy:
Kabel zasilający (EU, długość 3 m) 9699957
Kabel szeregowy (dł. 3 m) i oprogramowanie T-plus 9699883
Ekran wlotowy pompy ISO 160 9699304
Ekran wlotowy pompy ISO 200 9699316
Zestaw do chłodzenia wodnego (wąż G 1/4) 9699825
Zestaw do chłodzenia wodnego (króciec Inox G 1/4) 9699826
 Adapter flanszy zapowietrzającej (DN 10 KF / M8) 9699108
Zawór zapowietrzający ze zwłoką czasową (dla kontrolera typu rack) 9699831
Automatyczny zawór zapowietrzający (dla kontrolera typu rack) X3501-68002
Automatyczny zawór zapowietrzający (dla kontrolera typu Navigator) 9699834
Zawór do kontroli przedmuchu 20 SCCM (DN 16 KF / M12) 9699241
Zawór do kontroli przedmuchu 20 SCCM (1/4 Swagelok / M12) 9699242