Agilent Turbo-V 1K-G jest wysokowydajną pompą turbomolekularną stworzoną na potrzeby systemów próżniowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw. Stopnie pompowania oraz cała konstrukcja są zoptymalizowane do pracy z bardzo dużymi przepływami Argonu przy wysokiej temperaturze. Ta wytrzymała pompa turbo znakomicie sprawdza się w trudnych warunkach produkcyjnych np paneli słonecznych, płaskich wyświetlaczy a także przy nanoszeniu powłok metodą PVD.
Prosta i wytrzymała konstrukcja pompy turbomolekularnej Turbo-V 1K-G oraz zaawansowana elektronika sterująca, czyni ją optymalnym rozwiązaniem dla procesów powlekania próżniowego.
Z doświadczenia wiemy także, że pompa turbomolekularna Agilent Trubo-V 1K-G doskonale sprawdza się we wszystkich tych aplikacjach, w których niezbędna jest niezawodna pompa próżniowa o wysokiej wydajności.
Cechy pompy:
- Specjalistyczne rozwiązanie dla systemów pompowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw
- Wysoka prędkość pompowania i duży przepływ gazu
- Wytrzymała konstrukcja i wysoce wydajny układ chłodzenia do ciągłej pracy
- Układ do przedmuchu łożysk
- Do wyboru kontroler typu rack lub Navigator
- Wszechstronny interfejs elektroniczny z łatwym w obsłudze oprogramowaniem sterującym
- Analogowe sygnały I/O oraz RS 232 / RS 485 jako standard, interfejs Profibus jako opcja
Prędkość pompowania | ISO 160 | ISO 200 | |
N2 He H2 Ar | 810 l/s 950 l/s 680 l/s 750 l/s | 1080 l/s 1150 l/s 730 l/s 1040 l/s | |
Współczynnik kompresji | |||
N2 He H2 Ar | > 5 x 107 > 4 x 104 1.5 x 104 > 5 x 108 | ||
Próżnia końcowa (z rekomendowaną pompą wstępną) | < 1 x 10-10 mbar | ||
Dostępne flansze wlotowe | ISO 160F; ISO 200F | ||
Flansza wylotowa | DN 25 KF (dla flanszy wlotowej ISO 160) DN 40 KF (dla flanszy wlotowej ISO 200) | ||
Prędkość obrotowa | 45500 rpm | ||
Czas startu pompy | < 5 min | ||
Rekomendowane pompy wstępne | Pompy rotacyjne Agilent DS 602 Pompy suche typu scroll TriScroll 600 | ||
Pozycja pracy | Dowolna | ||
Temperatura pracy (otoczenia) | Od +5°C do +35°C | ||
Temperatura wygrzewania | 80°C dla flnaszy typu ISO 120°C dla flanszy typu CF (na flanszy wlotowej) | ||
Poziom wibracji | < 0.01 μm na flanszy wlotowej | ||
Wymagania dotyczące chłodzenia | |||
Typ chłodzenia | Wodne | ||
Temperatura przechowywania | Od -20°C do +70°C | ||
Masa | 26.8 kg |
Numer katalogowy: | |
Kabel zasilający (EU, długość 3 m) | 9699957 |
Kabel szeregowy (dł. 3 m) i oprogramowanie T-plus | 9699883 |
Ekran wlotowy pompy ISO 160 | 9699304 |
Ekran wlotowy pompy ISO 200 | 9699316 |
Zestaw do chłodzenia wodnego (wąż G 1/4) | 9699825 |
Zestaw do chłodzenia wodnego (króciec Inox G 1/4) | 9699826 |
Adapter flanszy zapowietrzającej (DN 10 KF / M8) | 9699108 |
Zawór zapowietrzający ze zwłoką czasową (dla kontrolera typu rack) | 9699831 |
Automatyczny zawór zapowietrzający (dla kontrolera typu rack) | X3501-68002 |
Automatyczny zawór zapowietrzający (dla kontrolera typu Navigator) | 9699834 |
Zawór do kontroli przedmuchu 20 SCCM (DN 16 KF / M12) | 9699241 |
Zawór do kontroli przedmuchu 20 SCCM (1/4 Swagelok / M12) | 9699242 |