Agilent Turbo-V 2K-G jest wysokowydajną pompą turbomolekularną stworzoną na potrzeby systemów próżniowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw. Stopnie pompowania oraz cała konstrukcja są zoptymalizowane do pracy z bardzo dużymi przepływami Argonu przy wysokiej temperaturze. Ta wytrzymała pompa turbo znakomicie sprawdza się w trudnych warunkach produkcyjnych np paneli słonecznych, płaskich wyświetlaczy a także przy nanoszeniu powłok metodą PVD.
Prosta i wytrzymała konstrukcja pompy turbomolekularnej Turbo-V 2K-G oraz zaawansowana elektronika sterująca, czyni ją optymalnym rozwiązaniem dla procesów powlekania próżniowego.
Z doświadczenia wiemy także, że pompa turbomolekularna Agilent Trubo-V 2K-G doskonale sprawdza się we wszystkich tych aplikacjach, w których niezbędna jest niezawodna pompa próżniowa o wysokiej wydajności.
Cechy pompy:
- Specjalistyczne rozwiązanie dla systemów pompowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw
- Wysoka prędkość pompowania i duży przepływ gazu przy zachowaniu kompaktowej budowy
- Wytrzymała konstrukcja i wysoce wydajny układ chłodzenia do ciągłej pracy
- Pompa ze zintegrowaną elektroniką, modułem zasilania, układem przedmuchu oraz interfejsem komunikacyjnym
- Wszechstronny interfejs elektroniczny z łatwym w obsłudze oprogramowaniem sterującym
- Analogowe sygnały I/O oraz RS 232 / RS 485 jako standard, interfejs Profibus jako opcja
Prędkość pompowania | ISO 250F | ||
N2 | 1600 l/s | ||
Współczynnik kompresji | |||
N2 | < 3 x 105 | ||
Próżnia końcowa (z rekomendowaną pompą wstępną) | < 1 x 10-8 mbar | ||
Dostępne flansze wlotowe | ISO 250F | ||
Flansza wylotowa | DN 40 KF | ||
Prędkość obrotowa | 33000 rpm | ||
Czas startu pompy | < 7 min | ||
Rekomendowane pompy wstępne | > 40 m3/h | ||
Pozycja pracy | Dowolna | ||
Temperatura pracy (otoczenia) | Od +5°C do +40°C | ||
Temperatura wygrzewania | < 80°C na flanszy wlotowej | ||
Wymagania dotyczące chłodzenia | |||
Chłodzenie wodą | Temperatura wody od +10°C do +35°C Minimalny strumień wody chłodzącej: 200 l/h Ciśnienie wody: od 3 do 5 bar | ||
Temperatura przechowywania | Od -20°C do +70°C | ||
Masa | 35 kg |
Numer katalogowy: | |
Kabel zasilający (EU, długość 3 m) | 9699957 |
Kabel szeregowy (dł. 3 m) i oprogramowanie T-plus | 9699883 |
Zestaw do chłodzenia wodnego 6 x 8 (wąż elastyczny) | 9699348 |
Zestaw do chłodzenia wodnego 3/8” (wąż elastyczny) | 9699338 |
Kabel systemu zdalnego sterowani Turbo-V | 9699945 |
Panel systemu zdalnego sterowania Turbo-V | 9698850 |
Części zapasowe | |
Złącza elektroniczne o stopniu ochrony IP54 | 9699958 |
Ekran wlotowy pompy z pierścieniem centrującym (ISO 250) | 9699138 |
Węże wody chłodzącej | 9699825 |