Agilent Turbo-V 3K-G jest wysokowydajną pompą turbomolekularną stworzoną na potrzeby systemów próżniowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw. Stopnie pompowania oraz cała konstrukcja są zoptymalizowane do pracy z bardzo dużymi przepływami Argonu przy wysokiej temperaturze. Ta wytrzymała pompa turbo znakomicie sprawdza się w trudnych warunkach produkcyjnych np paneli słonecznych, płaskich wyświetlaczy a także przy nanoszeniu powłok metodą PVD.

Prosta i wytrzymała konstrukcja pompy turbomolekularnej Turbo-V 3K-G oraz zaawansowana elektronika sterująca, czyni ją optymalnym rozwiązaniem dla procesów powlekania próżniowego.
Z doświadczenia wiemy także, że pompa turbomolekularna Agilent Trubo-V 3K-G doskonale sprawdza się we wszystkich tych aplikacjach, w których niezbędna jest niezawodna pompa próżniowa o wysokiej wydajności.

Cechy pompy:

  • Specjalistyczne rozwiązanie dla systemów pompowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw
  • Wysoka prędkość pompowania i duży przepływ gazu przy zachowaniu kompaktowej budowy
  • Wytrzymała konstrukcja i wysoce wydajny układ chłodzenia do ciągłej pracy
  • Najnowocześniejsza konstrukcja wirnika zapewnia znaczne zmniejszenie masy i naprężeń mechanicznych
  • Opatentowane złącze wirnika i wału eliminuje naprężenia rozciągające wirnika
  • Pompa ze zintegrowaną elektroniką, modułem zasilania, układem przedmuchu oraz interfejsem komunikacyjnym
  • Wszechstronny interfejs elektroniczny z łatwym w obsłudze oprogramowaniem sterującym
  • MTTF (średni czas do wystąpienia awarii) większy niż 200 000 godzin
  • Analogowe sygnały I/O oraz RS 232 / RS 485 jako standard, interfejs Profibus jako opcja
Prędkość pompowania ISO 250 F
N2
He

Ar
2200 l/s
1900 l/s
2050 l/s
Współczynnik kompresji
N2
He
Ar
> 1 x 107
6 x 103
> 1 x 108
Próżnia końcowa
(z rekomendowaną pompą wstępną)
< 1 x 10-8 mbar
Dostępne flansze wlotowe ISO 250 F
Flansza wylotowa DN 40 KF
Prędkość obrotowa 31800 rpm
Czas startu pompy < 6 min
Rekomendowane pompy wstępne > 60 m3/h
Pozycja pracy Dowolna
Temperatura pracy (otoczenia) Od +5°C do +35°C
Temperatura wygrzewania Do 80°C na flanszy wlotowej
Wymagania dotyczące chłodzenia
Chłodzenie wodą Temperatura wody od +10°C do +30°C
Minimalny strumień wody chłodzącej: 200 l/h
Ciśnienie wody:od 3 do 5 bar
Temperatura przechowywania Od -20°C do +70°C
Masa 52 kg
Numer katalogowy:
Kabel zasilający (EU, długość 3 m) 9699957
Kabel szeregowy (dł. 3 m) i oprogramowanie T-plus 9699883
Zestaw do chłodzenia wodnego 6 x 8 (wąż elastyczny) 9699348
Zestaw do chłodzenia wodnego 3/8” (wąż elastyczny) 9699338
Części zapasowe
Złącza elektroniczne o stopniu ochrony IP54 9699958
Ekran wlotowy pompy z pierścieniem centrującym (ISO 250) 9699138
O-ring i pierścień centrujący ISO 250 9699144