Agilent Turbo-V 3K-G jest wysokowydajną pompą turbomolekularną stworzoną na potrzeby systemów próżniowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw. Stopnie pompowania oraz cała konstrukcja są zoptymalizowane do pracy z bardzo dużymi przepływami Argonu przy wysokiej temperaturze. Ta wytrzymała pompa turbo znakomicie sprawdza się w trudnych warunkach produkcyjnych np paneli słonecznych, płaskich wyświetlaczy a także przy nanoszeniu powłok metodą PVD.
Prosta i wytrzymała konstrukcja pompy turbomolekularnej Turbo-V 3K-G oraz zaawansowana elektronika sterująca, czyni ją optymalnym rozwiązaniem dla procesów powlekania próżniowego.
Z doświadczenia wiemy także, że pompa turbomolekularna Agilent Trubo-V 3K-G doskonale sprawdza się we wszystkich tych aplikacjach, w których niezbędna jest niezawodna pompa próżniowa o wysokiej wydajności.
Cechy pompy:
- Specjalistyczne rozwiązanie dla systemów pompowych w instalacjach do nanoszenia cienkich warstw
- Wysoka prędkość pompowania i duży przepływ gazu przy zachowaniu kompaktowej budowy
- Wytrzymała konstrukcja i wysoce wydajny układ chłodzenia do ciągłej pracy
- Najnowocześniejsza konstrukcja wirnika zapewnia znaczne zmniejszenie masy i naprężeń mechanicznych
- Opatentowane złącze wirnika i wału eliminuje naprężenia rozciągające wirnika
- Pompa ze zintegrowaną elektroniką, modułem zasilania, układem przedmuchu oraz interfejsem komunikacyjnym
- Wszechstronny interfejs elektroniczny z łatwym w obsłudze oprogramowaniem sterującym
- MTTF (średni czas do wystąpienia awarii) większy niż 200 000 godzin
- Analogowe sygnały I/O oraz RS 232 / RS 485 jako standard, interfejs Profibus jako opcja
| Prędkość pompowania | ISO 250 F |
| N2 He Ar | 2200 l/s 1900 l/s 2050 l/s |
| Współczynnik kompresji | |
| N2 He Ar | > 1 x 107 6 x 103 > 1 x 108 |
| Próżnia końcowa (z rekomendowaną pompą wstępną) | < 1 x 10-8 mbar |
| Dostępne flansze wlotowe | ISO 250 F |
| Flansza wylotowa | DN 40 KF |
| Prędkość obrotowa | 31800 rpm |
| Czas startu pompy | < 6 min |
| Rekomendowane pompy wstępne | > 60 m3/h |
| Pozycja pracy | Dowolna |
| Temperatura pracy (otoczenia) | Od +5°C do +35°C |
| Temperatura wygrzewania | Do 80°C na flanszy wlotowej |
| Wymagania dotyczące chłodzenia | |
| Chłodzenie wodą | Temperatura wody od +10°C do +30°C Minimalny strumień wody chłodzącej: 200 l/h Ciśnienie wody:od 3 do 5 bar |
| Temperatura przechowywania | Od -20°C do +70°C |
| Masa | 52 kg |
| Numer katalogowy: | |
| Kabel zasilający (EU, długość 3 m) | 9699957 |
| Kabel szeregowy (dł. 3 m) i oprogramowanie T-plus | 9699883 |
| Zestaw do chłodzenia wodnego 6 x 8 (wąż elastyczny) | 9699348 |
| Zestaw do chłodzenia wodnego 3/8” (wąż elastyczny) | 9699338 |
| Części zapasowe | |
| Złącza elektroniczne o stopniu ochrony IP54 | 9699958 |
| Ekran wlotowy pompy z pierścieniem centrującym (ISO 250) | 9699138 |
| O-ring i pierścień centrujący ISO 250 | 9699144 |