Optyczne analizatory gazów firmy MKS
Optyczne analizatory gazów stanowią bardzo interesującą alternatywę dla technik bazujących na spektrometrii mas. Coraz popularniejsze stają się analizatory FTIR (Fourier-transform infrared), NDIR (Nondispersive infrared) oraz TFS (Tunable Filter Spectrometers). Urządzenia działające w oparciu o metodę spektroskopii w podczerwieni z transformatą Fouriera (FTIR), pozwalają uzyskać widmo absorpcji równocześnie w bardzo szerokim zakresie i co ważne, zachowują przy tym wysoką rozdzielczość widmową. Przyrządy z grupy NDIR do realizacji analiz wykorzystują niedyspersyjny czujnik podczerwieni, oferując prostą budowę i łatwość integracji. Instrumenty wyposażone w przestrajalny filtr (TFS) stanowią znakomitą alternatywę dla tradycyjnych analizatorów śladowych ilości węglowodorów, wilgoci, CO, CO2 oraz pomiaru N2O. Dzięki dostępowi do najnowszych technologii firmy MKS Instruments oferujemy Państwu trzy serie aparatów bazujących na technikach spektroskopii w podczerwieni.
Analizatory FTIR MultiGasTM
Analizatory z serii MultiGas 2030 składają się ze spektrometru FTIR typu 2102 Process, opatentowanej komory pomiarowej o wysokiej przepuszczalności optycznej, oprogramowania analitycznego dostosowanego do konkretnych zastosowań oraz niezależnej od urządzenia biblioteki spektralnej do analizy ilościowej. Urządzenie rejestruje widma podczerwone o wysokiej rozdzielczości, które są następnie analizowane przy użyciu biblioteki spektralnej. Zapewnia to dokładny i bardzo czuły pomiar większości gazów i par.
Oprogramowanie MultiGas 2030 oferuje wielopunktowe krzywe kalibracyjne, które zapewniają zakres dynamiczny do 9 rzędów wielkości (od ppb do 100%). Wraz z urządzeniem dostarczane są ustawienia kalibracyjne dla wielu substancji, a użytkownik może generować dodatkowe kalibracje na podstawie gazów o znanym stężeniu. Narzędzia w oprogramowaniu weryfikują działanie każdego urządzenia, co pozwala na wykorzystanie kalibracji wygenerowanej na jednym analizatorze MultiGas 2030 na dowolnym innym analizatorze MultiGas™ 2030 bez konieczności wprowadzania zmian.
Analizatory NDIR Process SenseTM
Urządzenia serii Process SenseTM bazują na detekcji metodą spektroskopii NDIR (Non-Dispersive Infrared), jedyną techniką wykorzystywaną we wszystkich procesach czyszczenia plazmą. Urządzenie zamontowane w układzie monitoruje i sygnalizuje przebieg oraz poprawność zakończenia procesu czyszczenia. Urządzenie w wersji z metodą TFS (Tunable Filter Spectroscopy) jest w stanie wykonać „mini scan” w wąskim zakresie widma. Tak wykonany skan dostarcza informacji o stężeniu gazów oraz pozwala na wielokomponentową detekcję zawartych substancji.
Analizatory TFS z serii Process SenseTM
Urządzenia serii MultiGasTM i PrecisiveTM bazują na innowacyjnej technice optycznej TFS (Tunable Filter Spectroscopy). Dzięki czemu możliwa jest do wykonania szybka, nisko kosztowa, wielokomponentowa analiza (od UV przez cały zakres IR) dla serii węglowodorów, pary wodnej, CO, CO2 oraz N2O. Aparaty przeznaczone są do ciągłej 24/7 pracy przy jednoczesnej bezawaryjności oraz bardzo niskim limicie czułości na poziomie ppb i niższej.
