Regulatory przepływu masowego serii C

Regulatory przepływu masowego (MFC) serii C to kompaktowe modele o szybkiej reakcji, wykorzystujące czujnik przepływu oparty na technologii mikro-elektromechanicznej (MEMS) do zastosowań z gazami nie wywołującymi korozji.

  • Dostępne modele o różnych zakresach przepływu: 15-14 000 sccm; 14-50 000 sccm.
  • Błyskawiczny czas reakcji poniżej 100 ms.
  • Zakres regulacji od 0,1 do 100% pełnej skali.
  • Dokładność ±0,8% wartości zadanej.
  • Dostępne są interfejsy komunikacyjne zarówno analogowe (0–5 V DC), jak i cyfrowe (RS485, PROFINET® lub Modbus TCP/IP).
  • Wymagane napięcie zasilania wynosi nominalnie 24 V DC.

Dostępne modele

CMA10B 15–14 000 sccm – kompaktowy regulator przepływu masowego o szybkiej reakcji
Więcej

Regulator przepływu masowego (MFC) CMA10B to kompaktowy model o szybkiej reakcji, wykorzystujący czujnik przepływu oparty na technologii mikro-elektromechanicznej (MEMS) do zastosowań z gazami niekorodującymi. Urządzenie jest dostępne w wersjach o pełnym zakresie przepływu od 15 do 14 000 sccm (N2) z zakresem regulacji od 0,1% do 100% pełnej skali, a także w wersji jako przepływomierz. Dostępne są interfejsy komunikacyjne analogowe (0–5 VDC) lub cyfrowe (RS485, PROFINET® lub Modbus TCP/IP). Wymagane napięcie zasilania wynosi nominalnie 24 VDC.

  • Błyskawiczny czas reakcji <100 ms.
  • Zakres regulacji od 0,1 do 100% pełnej skali.
  • Dokładność ±0,8% wartości zadanej.
  • Minimalne odchylenie punktu zerowego i zakresu zapewnia długoterminową powtarzalność.
  • Dostępny interfejs do montażu powierzchniowego umożliwiający kompaktową konstrukcję panelu gazowego.
  • Wbudowana przeglądarka internetowa do konfiguracji i diagnostyki.
CMA50A 14 000–50 000 sccm – kompaktowy regulator przepływu masowego o szybkiej reakcji
Więcej

Regulator przepływu masowego (MFC) CMA50A z serii C to kompaktowy model o szybkiej reakcji, wykorzystujący czujnik przepływu oparty na technologii mikro-elektromechanicznej (MEMS) do zastosowań z gazami niekorodującymi. Urządzenie jest dostępne w wersjach o pełnym zakresie przepływu od 14 000 sccm do 50 000 sccm dla azotu (N2), z zakresem regulacji od 0,1% do 100% pełnej skali, a także jako przepływomierz. Dostępne są interfejsy komunikacyjne analogowe (0–5 V DC) lub cyfrowe (RS485, PROFINET® lub Modbus TCP/IP). Wymagane napięcie zasilania wynosi nominalnie 24 V DC.

  • Błyskawiczny czas reakcji <100 ms.
  • Zakres regulacji od 0,1 do 100% pełnej skali.
  • Dokładność ±0,8% wartości zadanej.
  • Minimalne odchylenie punktu zerowego i zakresu zapewnia długoterminową powtarzalność.
  • Dostępny interfejs do montażu powierzchniowego, umożliwiający kompaktową konstrukcję panelu gazowego.
  • Wbudowana przeglądarka internetowa do konfiguracji i diagnostyki.

Skontaktuj się z nami: