Regulatory przepływu masowego serii P
Wysokowydajne, wielogazowe i wielozakresowe, termiczne regulatory przepływu masowego serii P zostały zaprojektowane z myślą o najbardziej wymagających zastosowaniach procesowych, w których niezbędna jest dokładność, powtarzalność oraz odporność na zmiany ciśnienia.
- Wielozakresowość i współpraca z wieloma gazami.
- Przepływy od 5 do 50 000 sccm.
- Obsługa wielu gazów/zakresów z dokładnością do 1% wartości zadanej.
- Może posiadać wbudowany czujnik ciśnienia.
- Wejścia/wyjścia analogowe: 0–5 V DC.
- Opcja MFM.
Dostępne modele
Regulatory przepływu masowego P4B o wysokiej wydajności, 5–50 000 sccm
P4B to nowa generacja wielogazowych/wielozakresowych regulatorów przepływu masowego, zaprojektowanych z myślą o spełnieniu krytycznych wymagań dotyczących kontroli przepływu gazu w zakresie dokładności i szybkości reakcji. Funkcjonalności pracy z wieloma gazami i w wielu zakresach regulatora P4B MFC są możliwe dzięki parametrom gazów zapisanym w pamięci, które zapewniają dokładność na poziomie 1% wartości zadanej dla wybranego przez użytkownika gazu i może pracować w pełnym zakresie od 5 sccm do 50 slm.
- Zakres przepływu od 5 do 50 000 sccm.
- Wielogazowość/wielozakresowość z dokładnością 1% wartości zadanej.
- Analogowe wejścia/wyjścia: 0 do 5 VDC.
- Opcja MFM.
Wysokowydajne regulatory przepływu masowego P9B
Regulator przepływu masowego P9B, niewrażliwy na ciśnienie, obsługujący wiele gazów i zakresów, charakteryzuje się czasem regulacji poniżej 750 milisekund oraz dokładnością do 1% wartości zadanej w szerokim zakresie gazów procesowych, od gazów „lekkich”, takich jak hel, po gazy „ciężkie”, takie jak SF6. P9B to prawdziwy wielozakresowy/wielogazowy regulator przepływu masowego (MFC), zdolny do osiągania pełnych wartości skali przepływu od 5 sccm do 50 slm, co minimalizuje wymagania dotyczące konieczności stosowania wielu urządzeń MFC o różnych parametrach pracy.
- Przepływy od 5 do 50 000 sccm.
- Niewrażliwy na ciśnienie z wbudowanym czujnikiem ciśnienia.
- Wielogazowy/wielozakresowy z dokładnością 1% wartości zadanej.
- Analogowe wejścia/wyjścia: 0 do 5 VDC.
- Cyfrowe wejścia/wyjścia: DeviceNet, EtherCAT.
