Microvision 2 MKSMicrovision 2 jest nowoczesnym spektrometrem stworzonym przez specjalistów z MKS Instruments. Urządzenie spełnia najwyższe wymagania i potrzeby związane z analizą jakościową i ilościową gazów w laboratoriach naukowych, środowiskowych i kontroli jakości oraz w instalacjach przemysłowych. Dzięki ulepszonemu systemowi przemiatania spektrometr umożliwia wykonywanie bardzo szybkich pomiarów z czasem akwizycji do 1 ms/punkt pomiarowy w całym zakresie analizowanych mas. W zależności od planowanego zastosowania istnieje możliwość doboru optymalnego emitera. Geometria głowicy umożliwia instalacje zarówno zamkniętych jak i otwartych źródeł jonów. Do zastosowań specjalnych istnieje możliwość montażu otwartego źródła jonów UHV.

Zalety spektrometru Microvision 2

Spektrometr oprócz kwadrupolowego analizatora mas posiada dodatkowo filtr wstępny „prefilter” oraz opcjonalnie dla bardziej wymagających zastosowań filtr wyjściowy „post filter”.
Dzięki czemu spektrometr posiada:

  • Większa stabilność pomiarów w warunkach zwiększonego zanieczyszczenia analizowanej mieszaniny gazów
  • Zwiększona czułość pomiaru w zakresie większych mas. Szczególnie istotne przy monitorowaniu procesów CVD (Chemical Vapour Deposition)

Urządzenie posiada ulepszoną architekturę elektroniki sterującej, co umożliwia:

  • Zmniejszenie wpływu dużych sygnałów pomiarowych na fałszywy odczyt małych sygnałów
  • Zwiększona stabilność temperaturowa najważniejszych komponentów elektronicznych pozwalająca na zmniejszenie dryftu linii bazowej oraz stabilniejsze pomiary
  • Konfigurowalna analogowa I/O i cyfrowa komunikacja z urządzeniami/głowicami peryferyjnymi i PC, możliwość instalacji dodatkowych portów I/O wbudowanych w elektronikę RGA

Możliwość wyboru oprogramowania do kontroli i akwizycji danych w zależności od wymagań konkretnego zastosowania:

  • Standardowo wbudowany interfejs sieciowy używany często w zastosowaniach przemysłowych. Prosty interfejs umożliwia kontrolę, kalibrację, pomiar oraz eksport danych przy użyciu przeglądarki internetowej zainstalowanej na PC. Wykorzystując protokół ASCII oraz komunikację TCP-IP możliwe jest wysyłanie oraz odbieranie komand i danych za pomocą dowolnego oprogramowania zewnętrznego.
  • Program „EasyView” umożliwiający kontrolę spektrometru w sposób bardziej zaawansowany od interfejsu sieciowego. Umożliwia dodatkowo zapis danych i późniejszą ich analizę oraz kontrolę kilku spektrometrów w tym samym czasie. Program „EasyView” jest oferowany standardowo do każdego spektrometru Microvision 2.
  • Program „Process Eye Professional” pozwalający na całkowitą kontrolę wszystkich dostępnych parametrów spektrometru. Rozszerzony zakres możliwości komunikacji i wymiany danych z innymi urządzeniami peryferyjnymi za pomocą protokołów Modbus, ASCII lub SECS. Oprogramowanie umożliwia programowanie cyklów pomiarowych poprzez tworzenie plików zadaniowych „Recipes”. Program umożliwia elastyczny wybór parametrów dla danego cyklu pomiarowego oraz intuicyjny interfejs do późniejszej analizy danych.

Specyfikacja techniczna Microvision 2

  • Filtry kwadrupolowe i zakresy analizowanych mas:
    • Double filter: 1-100, 1-200, 1-300 amu
    • 5″ Single filter: 1-100, 1-200 amu
    • Triple filter: 1-100, 1-200, 1-300 amu
  • Emitery (filaments):
    • Wolframowy (W) lub Irydowy pokryty Torem (ThO2/Ir). Oba typy emiterów posiadają dwa niezależne żarniki.
  • Detektory:
    • Standardowo zainstalowane dwa detektory: detektor Faradaya oraz detektor powielający mikrokanałowy, opcjonalnie detektor jednokanałowy (Channeltron)
  • Minimalne wykrywalne stężenie (przy czasie integracji 300 ms/punkt)
    • Detektor mikrokanałowy : 3.8 x 10-14 Torr
    • Detektor jednokanałowy: 7.6 x 10-15 Torr (z wersją „triple” filtra kwadrupolowego)
    • Faraday: 1.5 x 10-11 Torr
  • Maksymalne ciśnienie pracy:
    • 7.6 x 10-5 Torr
  • Czułość:
    • 2.0 x 10-4 A/mbar
  • Temperatura pracy:
    • 200°C z detektorem Faradaya i elektroniką utrzymywaną w temp. 10-40°C
    • 150°C z detektorem kanałowym i elektroniką utrzymywaną w temp. 10-40°C (przy ciśnieniu <1e-8 mbar)
    • 90°C z detektorem kanałowym i elektroniką utrzymywaną w temp. 10-40°C (przy ciśnieniu <1e-5 mbar)
  • Maksymalna temperatura wygrzewania:
    • 250°C (z ekstenderem lub zdjętą elektroniką)