Armatura próżniowa i zawory
Nieodzownymi elementami układów próżniowych są armatura oraz zawory próżniowe, które pozwalają budować całe systemy i realizować szczelne połączenia. By móc w odpowiedni i pewny sposób podłączyć do układu pompę próżniową lub głowicę pomiarową, niezbędne są dedykowane klamry, uszczelnienia czy flansze.
Na rynku dostępnych jest bardzo wiele rozwiązań, ale najczęściej wykorzystywane są znormalizowane złącza, zgodne ze standardami takimi jak: CF (ISO/TS 3669-2:2007); KF (DIN 28403, ISO 2861) oraz ISO-K / ISO-F (DIN 28404/ISO 1609).
Zapewniamy dostęp do wszystkich standardowych elementów, adapterów i nietypowych podzespołów, które możemy wykonać na zamówienie.
Armatura próżniowa
Połączenia typu KF
Złącza próżniowe zgodne ze standardem KF (Klein Flansche) są szerzej opisane w normie ISO 2861 oraz DIN 28403. Występują w uniwersalnej formie (bez rozróżnienia na złącza męskie i żeńskie) i są najczęściej wykonywane ze stali nierdzewnej 304L lub 316L, aluminium lub mosiądzu. Uszczelnienie złączy typu KF wykonane jest z wykorzystaniem elastomerowego o-ringu, który zainstalowany jest z na pierścieniu centrującym. Elementy z zakończeniami tego typu łączy się ze sobą za pomocą dedykowanych klamer skręcanych lub zaciskanych (z dźwignią).
Złącza typu KF są wykorzystywane w zakresie od ciśnienia atmosferycznego do ok. 10-8 mbar.
Ze względu na uszczelnienie wykonane z elastomeru, zakres temperatur pracy tego typu połączeń sięga od ok. 0°C do 120–180°C.
Ustandaryzowane rozmiary połączeń KF to: KF10, KF16, KF25, KF40 i KF50.
Dostępne elementy w standardzie KF
Połączenia typu CF
Złącza próżniowe typu CF (ConFlat) są szerzej opisane w normie ISO 3669-2:2007.
Są to złącza dedykowane do układów wysokie i ultra wysokiej próżni, a uszczelnienie w tego typu połączeniach jest realizowane poprzez użycie uszczelek metalowych (najczęściej miedzianych). Flansze wyposażone są w ostrza, które ściskają uszczelkę i uszczelniają połączenie. Całość skręcana jest przy użyciu stalowych śrub, które instalowane są w otworach w kołnierzu flanszy oraz nakrętek z podkładkami.
Złącza typu CF są wykorzystywane w zakresie od ciśnienia atmosferycznego do ok. 10-11 mbar.
Dzięki uszczelnieniu wykonanym z metalu, zakres temperatur pracy tego typu połączeń sięga od -190°C do 450°C.
Ustandaryzowane rozmiary połączeń wystepują w szerokim zakresie od 1,33” (DN 16) do 13,25” (DN 275) (według tabeli poniżej):
| Średnica zewnętrzna (in) | Oznaczenie EU | Wg. normy ISO | Ilość śrub | Rozmiar śrub |
| 1,33” | NW 16 CF | DN 16 CF (CF 16; Mini-CF) | 6 | M4 (długość: 20 mm) |
| 2,125” | NW 25 CF | – | 4 | – |
| 2,75” | NW 35 CF | DN 35 CF (CF 35; CF 38; CF 40) | 6 | M6 (długość: 35 mm) |
| 3,375” | NW 50 CF | – | 8 | – |
| 4,5” | NW 63 CF | DN 63 CF (CF 63; CF 64) | 8 | M8 (długość: 50 mm) |
| 4,625” | NW 75 CF | – | 10 | – |
| 6,00” | NW 100 CF | DN 100 CF (CF 100) | 16 | M8 (długość: 50 mm) |
| 6,75” | NW 130 CF | – | 18 | – |
| 8,00” | NW 150 CF | DN 150 CF (CF 150; CF 160) | 20 | M8 (długość: 55 mm) |
| 10,00” | NW 200 CF | DN 200 CF (CF 200) | 24 | M8 (długość: 60 mm) |
| 12,00” | NW 250 CF | DN 250 CF (CF 250) | 32 | M8 (długość: 60 mm) |
| 13,25” | NW 275 CF | – | 30 | – |
Dostępne elementy w standardzie CF
Połączenia typu ISO
Złącza próżniowe typu ISO (K oraz F) są szerzej opisane w normie DIN 28404 oraz ISO 1609.
Konstrukcyjnie, złącza typu ISO są zbliżone do złączy typu KF, z tą różnicą, że pozwalają na łączenie elementów o większych średnicach. Podobnie jak w przypadku złączy KF, elementem uszczelniającym jest o-ring wykonany z elastomeru, który zainstalowany jest w specjalnym pierścieniu centrującym.
Złącza ISO występują w dwóch wersjach: ISO-K oraz ISO-F. Połączenia w przypadku wersji ISO-K realizowane są z użyciem klamer śrubowych, które instalowane są w rowkach umieszczonych na obwodzie kołnierza. W wersji ISO-F, w kołnierzach umieszczone są otwory śrubowe, w których zainstalować można śruby i zablokować je nakrętkami.
Złącza typu ISO są wykorzystywane w zakresie od ciśnienia atmosferycznego do ok. 10-8 mbar.
Zakres temperatur pracy tego typu połączeń sięga od ok. 0°C do 120–180°C.
Złącze próżniowe w standardzie ISO-K
Złącze próżniowe w standardzie ISO-F
Standardowe wymiary flanszy ISO-K
| Rozmiar flanszy | Średnica zew. flanszy | Liczba klamer | |
| Minimalna | Optymalna | ||
| ISO 63 | 95 mm | 3 | 4 |
| ISO 80 | 110 mm | 4 | 8 |
| ISO 100 | 130 mm | 4 | 8 |
| ISO 160 | 180 mm | 4 | 8 |
| ISO 200 | 240 mm | 6 | 12 |
| ISO 250 | 290 mm | 6 | 12 |
| ISO 320 | 370 mm | 8 | 12 |
| ISO 400 | 450 mm | 8 | 16 |
| ISO 500 | 550 mm | 12 | 16 |
| ISO 630 | 690 mm | 14 | 18 |
Standardowe wymiary flanszy ISO-F
| Rozmiar flanszy | Średnica zew. flanszy | Liczba śrub | |
| ISO 63 | 130 mm | 4 | |
| ISO 80 | 145 mm | 8 | |
| ISO 100 | 165 mm | 8 | |
| ISO 160 | 225 mm | 8 | |
| ISO 200 | 285 mm | 12 | |
| ISO 250 | 335 mm | 12 | |
| ISO 320 | 425 mm | 12 | |
| ISO 400 | 510 mm | 16 | |
| ISO 500 | 610 mm | 16 | |
| ISO 630 | 750 mm | 20 | |
Dostępne elementy w standardzie ISO
Zawory próżniowe
W naszej ofercie można znaleźć kilka serii zaworów firmy Agilent Technologies, ale mamy także dostęp do rozwiązań innych producentów. W zależności od potrzeb i wymagań procesu, możemy dostarczyć zawory sterujące, odcinające, kątowe, proste, bramowe, naciekowe oraz wiele innych.
Dostępne są zawory ręczne oraz ze sterowaniem elektromagnetycznym i pneumatycznym.
Zawory dostępne w naszej ofercie występują w bardzo wielu rozmiarach i standardach, co pozwala nam dopasować odpowiednie rozwiązanie do niemal każdej aplikacji.
Oferujemy również serwis zaworów i części zamienne do nich.
Podstawowe serie zaworów
Zawory metalowe UHV z serii 54
Zawory z serii 54 są wynikiem współpracy firmy Agilent z firmy VAT. Seria ta znakomicie sprawdzi się w układach ultra wysokiej próżni (UHV / XHV). Są to wysoce precyzyjne zawory ręczne, które charakteryzują się szczelnością < 1 x 10-10 mbar · l/s i mogą pracować przy różnicy ciśnień sięgającej < 2 bar.
Dzięki metalowym uszczelkom typu „hard-on-hard”, zawory te mogą wykonać tysiące operacji, zanim będą wymagały konserwacji. Technologia Flex vatring zapewnia wysokie siły uszczelniające przy stosunkowo niskich siłach osiowych. Możliwy jest dowolny kierunek montażu.
Blokowe zawory aluminiowe z serii 26
Aluminiowe zawory blokowe Agilent serii 26 to kompaktowe, niezawodne zawory stosowane w aplikacjach od próżni niskiej do wysokiej. Idealnie sprawdzają się m in. w produkcji półprzewodników i przyrządów, badaniach i rozwoju oraz przemysłowych systemach próżniowych. W większości zastosowań zawory te bez problemu wytrzymają 3 miliony cykli przed pierwszą konserwacją.
Zawory z tej serii są dostępne w wersjach kątowych i liniowych oraz mogą być sterowane ręcznie lub pneumatycznie. Zawór pneumatyczny jest również dostępny z wskaźnikiem położenia, który generuje sygnał elektryczny przy każdym cyklu zaworu.
Elektromagnetyczne zawory EMBV
Elektromagnetyczne zawory odcinające o bezpośrednim działaniu (EMBV) firmy Agilent eliminują potrzebę stosowania sprężonego powietrza w wielu różnych zastosowaniach próżniowych. Te zawory (normalnie zamknięte) są kompaktowe, nie wymagają konserwacji i mają żywotność wynoszącą 250 000 cykli.
Zawory EMBV są dostępne z kołnierzami przyłączeniowymi NW 16 KF lub NW 25 KF oraz z korpusami z aluminium lub z pokryciem niklowym, przeznaczonymi do zastosowań w środowiskach o umiarkowanej korozyjności. Dostępnych jest wiele opcji kompatybilności z różnymi napięciami.
Ręczne zawory ze stali nierdzewnej
Zawory ręczne ze stali nierdzewnej firmy Agilent są przeznaczone do podłączania pomp próżni wstępnej i próżni wysokiej systemów i układów. Zapewniają maksymalny przepływ i posiadają niewielkie wymiary, co ułatwia ich montaż i obsługę. Występują w wersjach kątowych oraz prostych i nadają się do systemów wymagających wysokiej niezawodności przy niskim poziomie odgazowania.
Aluminiowe zawory bramowe z serii 12
Dzięki współpracy firmy Agilent oraz VAT, powstała seria 12, która obejmuje niezawodne zawory bramowe wykonane z aluminium. Zawory serii 12 stanowią ekonomiczne rozwiązanie, charakteryzujące się niską emisją cząstek i niewielkimi rozmiarami. Dedykowane są do odcinania pomp wysokopróżniowych od części układu próżniowego lub do izolacji komór.
Aluminiowe zawory zasuwowe mają niewielki profil międzykołnierzowy, co ułatwia jego montaż i konserwację. Zawory są dostępne w wersji ręcznej, z popychaczem oraz pneumatycznej dwustronnego działania. Zawory pneumatyczne są dostępne z zaworami elektromagnetycznymi (pilotowymi) o napięciu 115 VAC, 220 VAC i 24 VDC oraz wskaźnikiem położenia.
Stalowe zawory bramowe z serii 11
Firma Agilent posiada w swojej ofercie zawory zasuwowe z serii 11 firmy VAT, wykonane ze stali nierdzewnej, w różnych rozmiarach i konfiguracjach, co pozwala sprostać wymaganiom w zakresie wysokiej próżni.
Zawory są dostępne z kołnierzami ISO lub ConFlat (CF) oraz z napędem ręcznym, tłokowym lub pneumatycznym dwustronnego działania. Zawory pneumatyczne są dostępne z zaworami elektromagnetycznymi (pilotowymi) o napięciu 115 VAC, 220 VAC i 24 VDC oraz ze wskaźnikiem położenia.
Zawory naciekowe VLV
Zawór naciekowy o zmiennym przepływie (VLV) firmy Agilent zawiera ruchomy tłok z optycznie płaskim szafirem, który styka się z zamocowaną metalową uszczelką. Tworzy to uszczelnienie całkowicie wolne od tarcia, zacinania się i ścinania. Ruch szafiru jest kontrolowany za pomocą mechanizmu z gwintowanym wałem i dźwignią, który zapewnia przełożenie mechaniczne wynoszące 13 000 do 1.
Zawory tego typu znakomicie sprawdzają się w precyzyjnym dozowaniu gazów procesowych oraz jako zawory na wlocie spektrometrów masowych.
