Cirrus MKSSpektrometr masowy Cirrus 3 jest urządzeniem stworzonym głównie z myślą o zastosowaniach, w których próbkowany gaz znajduje się pod ciśnieniem atmosferycznym. Dedykowany do monitorowania składu gazów procesowych i poprocesowych, monitoringu otoczenia, monitoringu składu atmosfery komór rękawicowych, monitorowania w analizach termo grawimetrycznych i procesach z ogniwami paliwowymi. Urządzenie jest wyposażone opcjonalnie w grzaną kapilarę do próbkowania gazu, rozszerzającą tym samym możliwości zastosowania spektrometru. Aparat charakteryzuje się szybkim czasem przemiatania umożliwiającą akwizycję do 250 punktów/sekundę w szerokim zakresie stężeń (od ppb do poziomu %).

Specyfikacja techniczna Cirrus 3

  • Filtry kwadrupolowe i zakresy analizowanych mas:
    • 1-100 amu, 1-200 amu lub 1-300 amu
  • Emitery (filaments):
    • Wolframowy (W) lub Irydowy pokryty Torem (ThO2/Ir). Oba typy emiterów posiadają dwa niezależne żarniki.
  • Detektory:
    • Standardowo zainstalowane dwa detektory: detektor Faradaya oraz detektor powielający mikrokanałowy
  • Minimalne wykrywalne stężenie:
    • Zależne od gazu, zwykle poniżej 100 ppb
  • Ciśnienie pracy:
    • 1 bar
  • Zużycie gazu do analizy:
    • 20 ml/min
  • Inlet gazu:
    • Długość 2.0 metra, złącze Swagelok 0.25 cala, ogrzewane do 150°C
  • System pompujący:
    • Pompa turbomolekularna (60 L/s) zintegrowana z 4 sektorową pompą wstępną w standardzie
  • System kontroli ciśnienia wlotowego:
    • System dostępny opcjonalnie, bazujący na Baratronie 640 (bardzo czuły manometr pojemnościowy ze wskazaniami niezależnymi od rodzaju analizowanej mieszaniny gazów)
  • Warunki pracy:
    • Wilgotność 20-80%, temperatura 5 – 35°C
  • Maksymalna temperatura wygrzewania:
    • 180°C
  • Interfejs i I/O:
    • 1 x RJ45 Ethernet LAN port
    • 4 wejścia analogowe (-11V – + 11V, 22 bit)
    • 2 wyjścia analogowe (0 – 10 V, 12 bit)
    • 16 TTL cyfrowe I/O
Cirrus 3-XD firmy MKS
Cirrus 3 firmy MKS