Plasma FIB- FERA

Tescan, Plasma FIB- FERAPierwszy na świecie w pełni zintegrowany system FIB, który umożliwia trawienie / modyfikację powierzchni ksenonowym źródłem plazmy. Ekstremalnie wysoki prąd jonowy (nawet do 2 μA) zwiększa prędkość trawienia o więcej niż 50 razy w porównaniu do konwencjonalnych systemów FIB wyposażonych w źródło jonów galu. Dzięki temu rozwiązaniu możliwe stało się szybkie trawienie dużych objętości w tym także materiałów, których do tej pory nie dało się w ten sposób modyfikować. Mikroskopy FERA firmy TESCAN zostały zaprojektowany jako uniwerslane narzędzie FIB-SEM, które ma spełniać najnowsze potrzeby dzisiejszej nauki oraz badań dla przemysłu.

Mikroskop FERA jest produkowany w dwóch konfiguracjach wielkości komory próbek:

Wielkość komory: Komora XM Komora GM
Maks. wysokość próbek: 13.9 cm 13.9 cm
Motoryzacja stolika w osiach: X,Y,Z,R*,T* X,Y,Z,R*,T*
Zakres ruchu w osi X: 13 cm 13 cm
Zakres ruchu w osi Y: 13 cm 13 cm
Zakres ruchu w osi Z: 100 cm 100 cm
Ilość wolnych portów: 12 20
Kamera podglądu komory: standard standard
Objaśnienia: * R - obrót stolika, T - pochylenie stolika

Nowoczesna optyka elektronowa

  • Tak samo jak wszystkie mikroskopy firmy TESCAN, system FERA wyposażony jest w unikalny układ elektronooptyczny (Wide Field Optics™), który oferuje operatorom kilka różnych trybów pracy optyki oraz obrazowania niedostępnych w innych mikroskopach. 
  • Specjalna soczewka pośrednia (Intermediate Lens - IML) pozwala na płynne, kontrolowane elektromagnetycznie, regulowanie apertury wiązki elektronowej.
  • Użycie najnowszych materiałów zastosowanyuch w soczewkach oraz cewkach pozwala na ultra-szybką prędkość skanowania wynoszącą poniżej 20 ns na piksel przy minimalizacji efektów zniekształceń dynamicznych.
  • Algorytm kontroli wiązki In-Flight Beam TracingTMzapewnia łatwą optymalizację parametrów wiązki elektronowej dla wybranego powiększenia i napięcia przyspieszającego. Umożliwia precyzyjną, automatyczną kontrolę i regulację prądu próbki oraz średnicy wiązki.
  • Unikalna konstrukcja kolumny mikroskopu - bez jakichkolwiek mechanicznie centrowanych elementów - pozwala na w pełni automatyczne centrowanie elementów kolumny.
  • Unikalne obrazowanie stereoskopowe, przy użyciu zaawansowanej technologii 3D Beam Technology - umożliwia uzyskiwanie trójwymiarowych obrazów w skali mikro i nano

Wysokowydajna optyka jonowa

Zaawansowany wysokowydajny system kontroli plazmy FIB pozwala na bardzo szybkie oraz precyzyjne trawienie i innego rodzaju modyfikację powierzchni próbek.

Łatwa obsługa i konserwacja

Utrzymanie mikroskopu w optymalnym stanie technicznym jest łatwe i eliminuje do minimum wymagane czynności konserwacyjne. Każdy szczegół został starannie zaprojektowany, aby zmaksymalizować wydajność i zminimalizować wysiłek operatora mikroskopu.

Przyjazne dla użytkownika oprogramowanie i narzędzia programowe

  • Oprogramowanie mikroskopu dostępne jest w wielu wersjach językowych.
  • Zarządzanie obrazem i raportowanie posiada szereg mozliwości edycji i archiwizacji
  • Oprogramowanie posiada zestaw narzędzi do diagnostyki oraz kontroli stanu systemu. Istnieje możliwość zdalnej diagnostyki, obsługi i kontroli mikroskopu.
  • Modułowa struktura oprogramowania pozwala wprowadzać dodatkowe rozszerzenia (moduły), które dają możliwości analizy i przetwarzania obrazów.
  • Podstawowy zestaw modułów dostępnych w standardowym oprogramowaniu takich jak wysoko zautomatyzowana kontrola wiązki jonów: generator wzorów DrawBeam Basic, jednoczesne FIB i obrazowanie SEM; Wstępnie zdefiniowane profile pracy FIB dostępne w standardzie
  • Dostępnych jest wiele opcjonalnych modułów lub specjanych aplikacji zoptymalizowanych do automatycznych procedur pomiarowych takich jak: analiza morfologiczna, zliczanie obiektów według zadanych kryteriów, rekonstrukcja obrazów trójwymiarowych, litografia elektronowa itp.
  • Opcjonalne oprogramowanie do tomografii 3D zapewnia w pełni automatyczne obrazowanie SEM lub analizę EDS, EBSD przygotowanych za pomocą FIB przekrojów i późniejszą rekonstrukcję 3D i wizualizację.

Modele FERA